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W e l l / n - D i f 0003520 f u s i o n s p a c i n g \0 032 0003540 \0 032 n - D i f f u s i o n / n - 0003560 W e l l s p a c i n g \0 021 \0 022 0003600 n - D i f f u s i o n w i d t 0003620 h \0 \0 3 \0 4 n - D i f f u s i o 0003640 n / u n c o n n e c t e d p - 0003660 s u b s t r a t e - c o n t a c 0003700 t s p a c i n g \0 \0 023 \0 024 n - 0003720 D i f f u s i o n s p a c i n 0003740 g \0 \0 036 \0 036 p - D i f f u s i o 0003760 n a n d n - W e l l - c o n 0004000 t a c t \0 021 \0 022 p - D i f f u s 0004020 i o n w i d t h \0 \0 . \0 . p - 0004040 D i f f u s i o n / u n c o n n 0004060 e c t e d n - W e l l - c o n 0004100 t a c t s p a c i n g \0 023 \0 024 0004120 p - D i f f u s i o n s p a c 0004140 i n g \0 \0 , \0 , I n s u f f i c 0004160 i e n t B u r i e d e x t e 0004200 n s i o n o v e r D i f f u 0004220 s i o n \0 023 \0 024 P o l y o v e 0004240 r D i f f u s i o n \0 \0 " \0 " 0004260 D i f f u s i o n / u n c o n n 0004300 e c t e d P o l y s p a c i 0004320 n g \0 " \0 " P o l y / u n c o n 0004340 n e c t e d D i f f u s i o n 0004360 s p a c i n g \0 \n \0 \n P o l y 0004400 w i d t h \0 \f \0 \f P o l y s 0004420 p a c i n g \0 022 \0 022 C u t t o 0004440 C u t s p a c i n g \0 022 \0 022 0004460 C u t t o V i a s p a c i 0004500 n g \0 \v \0 \f M e t a l w i d t 0004520 h \0 \0 \r \0 016 M e t a l s p a c 0004540 i n g \0 \0 \r \0 016 M e t a l 2 0004560 w i d t h \0 \0 017 \0 020 M e t a l 0004600 2 s p a c i n g \0 \0 025 \0 026 n - 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c o n t a c t s p a 0005700 c i n g \0 036 \0 036 b u r i e d - c 0005720 o n t a c t / c h a n n e l s 0005740 p a c i n g \0 035 \0 036 O p a q u e 0005760 c e l l b o u n d a r y v 0006000 i o l a t e d \0 \0 " \0 " c M o s 0006020 t e c h n o l o g y p a r a 0006040 m e t e r s L o a d e d \r \0 006 0006060 \0 006 O p a q u e \0 \n \0 \n n D i f 0006100 f u s i o n \0 \n \0 \n p D i f f u 0006120 s i o n \0 004 \0 004 P o l y \0 005 \0 006 0006140 M e t a l \0 \0 006 \0 006 M e t a l 2 0006160 \0 005 \0 006 N W e l l \0 \0 002 \0 002 n D 0006200 \0 002 \0 002 p D \0 001 \0 002 P \0 \0 001 \0 002 0006220 M \0 \0 002 \0 002 M 2 \0 016 \0 016 C M o s 0006240 T r a n s i s t o r \0 023 \0 024 C M 0006260 o s P T y p e T r a n s i s t o 0006300 r \0 \0 017 \0 020 C M o s A T r a n s 0006320 i s t o r \0 \0 024 \0 024 C M o s P T 0006340 y p e A T r a n s i s t o r \0 006 0006360 \0 006 C T r a n s \0 \a \0 \b C L T r 0006400 a n s \0 \0 \n \0 \n C W e l l T r a 0006420 n s \0 \v \0 \f C L W e l l T r a n 0006440 s \0 \0 \f \0 \f C M o s P D i f R e 0006460 c t \0 024 \0 024 C M o s C o n t a c 0006500 t D i f A n d P o l \0 030 \0 030 C M 0006520 o s C o n t a c t W e l l D i f 0006540 A n d P o l \0 016 \0 016 C M o s C o 0006560 n t a c t B u t \0 022 \0 022 C M o s 0006600 C o n t a c t W e l l B u t \0 \t 0006620 \0 \n C B u r C o n t S \0 \0 \n \0 \n 0006640 C B u r C o n t P S \0 \n \0 \n C B 0006660 u r C o n t D I \0 \n \0 \n C B u r 0006700 C o n t D L \0 022 \0 022 C M o s W e 0006720 l l B u r C o n t a c t \0 \r \0 016 0006740 C M o s M m C o n t a c t \0 \0 027 0006760 \0 030 C M o s C o n t a c t W e l 0007000 l D i f S h o r t \0 \0 023 \0 024 C M 0007020 o s C o n t a c t D i f S h o r 0007040 t \0 \0 \n \0 \n C S i m p l e C o n 0007060 \0 016 \0 016 C W e l l S i m p l e C 0007100 o n \0 \f \0 \f C D i f S h o r t C 0007120 o n \0 020 \0 020 C W e l l D i f S h 0007140 o r t C o n \0 \f \0 \f C B u t t i 0007160 n g C o n t \0 020 \0 020 C W e l l B 0007200 u t t i n g C o n t \0 004 \0 004 C V 0007220 i a \0 025 \0 205 210 242 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 0007240 017 216 257 310 337 030 S 210 256 \0 R \0 \0 \t \0 0007260 257 330 361 P 6 p S \0 024 \0 \0 \t \0 257 330 0007300 371 246 363 221 % \0 322 \0 \0 P \0 u 262 260 003 c 0007320 i r 216 257 310 337 030 S 210 256 \0 @ 003 d i m 0007340 257 033 335 321 3 C \0 \0 026 005 t r a n s 257 0007360 j 035 333 377 214 350 \0 026 004 n o d e 216 257 310 0007400 337 030 S 210 256 \0 H 261 260 \a c i r N o d 0007420 e 216 257 310 337 030 S 210 256 \0 H 261 \0 \t \0 0007440 257 310 337 030 S 210 256 \0 x \0 \0 \0 260 005 0007460 f i r s t 257 310 337 030 S 210 256 \0 v 004 r 0007500 e s t 214 257 310 337 030 S 210 256 \0 v 261 \0 " 0007520 \0 2 260 005 f i r s t 216 257 310 337 030 S 210 0007540 256 \0 x 004 r e s t 214 216 257 310 337 030 S 210 0007560 256 \0 x 261 \0 \t \0 257 310 337 030 S 210 256 \0 0007600 t \0 \0 \t \0 257 310 337 030 S 210 256 \0 f \0 0007620 \0 001 \0 251 \0 \0 \t \0 257 310 337 030 S 210 0007640 256 \0 R \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 0007660 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 * 0010000 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 0010020 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 * 0010100 \0 \0 \0 035 \0 \t \0 \0 \0 ; 002 \b \a < \0 005 0010120 \0 031 8 002 266 M 7 8 002 266 M _ \0 342 0010140 7 364 B ; 021 q ? \0 8 002 266 M 7 0010160 8 002 266 M _ \0 342 7 364 B ; 023 q ? \0 0010200 8 002 266 M 7 8 002 266 M _ \0 342 7 0010220 364 B ; 017 q ? \0 8 002 266 M 7 8 002 0010240 266 M _ \0 342 7 364 B ; 025 q ? \0 322 ( 0010260 027 a h 320 020 343 r 024 . 032 # t 034 026 t 032 0010300 026 t 032 037 t 032 033 t 032 031 t 033 032 " t 032 0010320 ! t 032 035 t 032 027 t 032 032 t 036 032 022 t 032 0010340 \r t 032 030 t 032 016 t 032 t 032 020 t 035 032 0010360 $ t 032 023 t 031 t 032 021 t 032 036 t 032 \f t 0010400 032 017 t 032 034 . x r \t / : 034 K \0 020 5 0010420 032 017 . : 017 K \0 020 / : 023 K \0 020 / : 0010440 023 K \0 @ / : 023 K \0 200 / : $ K \0 220 0010460 / : 006 K \0 020 . : 006 K \0 @ / : 006 K 0010500 \0 200 / : 006 K \0 220 / : 031 K \0 P / : 0010520 033 K \0 @ 5 032 \f . : \f K \0 020 . : \f 0010540 K \0 200 / : 020 K \0 020 / : 020 K \0 @ / 0010560 : 020 K \0 ` / : 016 K \0 020 . : 016 K \0 0010600 @ / : 016 K \0 ` / : 016 K \0 p / : 0010620 K \0 p / : 030 K \0 020 / : 030 K \0 ` 5 0010640 032 \r . : \r K \0 020 . : \r K \0 ` / : 0010660 032 K \0 020 / : 027 K \0 p / : 022 K \0 020 0010700 / : 022 K \0 320 5 025 . : \a K \0 020 . : 0010720 \a K \0 320 . : \a K \0 340 / : 021 K \0 020 0010740 / : 021 K \0 320 / : \v K \0 @ / : \v K 0010760 \0 P / : \v K \0 ` / : \v K \0 p / : 0011000 \b K \0 020 / : \b K \0 @ / : \b K \0 P 0011020 / : \b K \0 ` 5 023 . : 005 K \0 020 . : 0011040 005 K \0 @ . : 005 K \0 P . : 005 K \0 ` 0011060 / : 036 K \0 340 / : 035 K \0 ` / : ! 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