| units: 100 d OUT OUT VDD 4 2 202 124 e N1 GND OUT 2 4 202 132 e PHI2 N2 N1 2 4 184 133 d N2 N2 VDD 4 2 166 124 e N3 GND N2 2 4 166 132 e PHI1 N4 N3 2 4 148 133 d N4 N4 VDD 4 2 130 124 e N5 GND N4 2 4 130 132 e PHI2 N6 N5 2 4 112 133 d N6 N6 VDD 4 2 94 124 e N7 GND N6 2 4 94 132 e PHI1 IN N7 2 4 76 133 N IN 20 24 0 0 0 0 N N7 28 30 30 32 24 20 N PHI2 0 0 24 28 0 0 N N6 68 66 24 20 24 20 N PHI1 0 0 24 28 0 0 N N4 68 66 24 20 24 20 N N2 68 66 24 20 24 20 N PHI2 0 0 24 28 0 0 N N5 28 30 30 32 24 20 N PHI1 0 0 24 28 0 0 N N3 28 30 30 32 24 20 N GND 96 80 0 0 448 302 N VDD 72 72 0 0 448 302 N N1 28 30 30 32 24 20 N OUT 60 58 24 20 24 20