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D i f f u s i o n w i d t 0005520 h \0 \0 3 \0 4 n - D i f f u s i o 0005540 n / u n c o n n e c t e d p - 0005560 s u b s t r a t e - c o n t a c 0005600 t s p a c i n g \0 \0 023 \0 024 n - 0005620 D i f f u s i o n s p a c i n 0005640 g \0 \0 " \0 " c M o s t e c h n 0005660 o l o g y p a r a m e t e r s 0005700 L o a d e d \r \0 006 \0 006 O p a q 0005720 u e \0 \n \0 \n n D i f f u s i o n 0005740 \0 \n \0 \n p D i f f u s i o n \0 004 0005760 \0 004 P o l y \0 005 \0 006 M e t a l \0 0006000 \0 006 \0 006 M e t a l 2 \0 005 \0 006 N W 0006020 e l l \0 \0 002 \0 002 n D \0 002 \0 002 p D 0006040 \0 001 \0 002 P \0 \0 001 \0 002 M \0 \0 002 \0 002 0006060 M 2 \0 016 \0 016 C M o s T r a n s i 0006100 s t o r \0 023 \0 024 C M o s P T y p 0006120 e T r a n s i s t o r \0 \0 017 \0 020 0006140 C M o s A T r a n s i s t o r \0 0006160 \0 024 \0 024 C M o s P T y p e A T r 0006200 a n s i s t o r \0 \f \0 \f C M o s 0006220 P D i f R e c t \0 024 \0 024 C M o s 0006240 C o n t a c t D i f A n d P o l 0006260 \0 030 \0 030 C M o s C o n t a c t W 0006300 e l l D i f A n d P o l \0 016 \0 016 0006320 C M o s C o n t a c t B u t \0 022 0006340 \0 022 C M o s C o n t a c t W e l 0006360 l B u t \0 \t \0 \n C B u r C o n t 0006400 S \0 \0 \n \0 \n C B u r C o n t P S 0006420 \0 \n \0 \n C B u r C o n t D I \0 \n 0006440 \0 \n C B u r C o n t D L \0 022 \0 022 0006460 C M o s W e l l B u r C o n t a 0006500 c t \0 \r \0 016 C M o s M m C o n t 0006520 a c t \0 \0 027 \0 030 C M o s C o n t 0006540 a c t W e l l D i f S h o r t \0 0006560 \0 023 \0 024 C M o s C o n t a c t D 0006600 i f S h o r t \0 \0 025 \0 025 205 210 242 \0 0006620 \0 \0 \0 \0 \0 \0 017 216 257 346 335 247 z 036 200 \0 0006640 R \0 \0 \t \0 \t 257 1 } s 315 301 q \0 024 \0 0006660 \0 \t \0 \t 257 204 246 230 w 366 o \0 274 \0 \0 n 0006700 \0 n 262 260 003 c i r 216 257 346 335 247 z 036 200 0006720 \0 @ 003 d i m 257 \f 020 222 C 256 025 \0 026 004 0006740 a p p l 216 257 313 6 017 003 274 301 \0 0 003 p 0006760 o s 257 \f 020 222 C 256 025 \0 024 006 o r i e 0007000 n t 210 242 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \a 004 n o d 0007020 e 216 257 346 335 247 z 036 200 \0 H 261 260 \a c i 0007040 r N o d e 216 257 346 335 247 z 036 200 \0 H 261 0007060 \0 " \0 " 260 005 f i r s t 216 257 346 335 247 0007100 z 036 200 \0 x 004 r e s t 214 216 257 346 335 247 0007120 z 036 200 \0 x 261 \0 \t \0 \t 257 346 335 247 z 036 0007140 200 \0 x \0 \0 \0 260 005 f i r s t 257 0007160 346 335 247 z 036 200 \0 v 004 r e s t 214 257 346 0007200 335 247 z 036 200 \0 v 261 \0 \t \0 \t 257 346 335 247 0007220 z 036 200 \0 t \0 \0 \t \0 \t 257 346 335 247 z 036 0007240 200 \0 f \0 \0 001 \0 001 251 \0 \0 \t \0 \t 257 346 0007260 335 247 z 036 200 \0 R \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 0007300 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 * 0010000 \0 034 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 0010020 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 * 0010060 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 \0 033 \0 \t \0 \0 0010100 \0 : 002 \v 006 254 \0 006 \0 267 8 002 266 M 7 0010120 8 002 266 M _ \0 342 7 364 B ; 261 q ? 0010140 \0 8 002 266 M 7 8 002 266 M _ \0 342 7 0010160 364 B ; 263 q ? \0 8 002 266 M 7 8 0010200 002 266 M _ \0 342 7 364 B ; 257 q ? \0 8 0010220 002 266 M 7 8 002 266 M _ \0 342 7 364 0010240 B ; 265 q ? \0 322 ( s 316 343 377 r 022 . 032 0010260 " t 034 026 t 032 024 t 032 036 t 032 032 t 032 030 0010300 t 033 032 ! t 032 t 032 033 t 032 026 t 032 031 0010320 t 035 032 020 t 031 t 032 027 t 032 \f t 032 037 t 0010340 032 016 t 036 032 034 t 032 021 t 027 t 032 017 t 032 0010360 035 t 030 t 032 \r t 032 025 / : 025 K \0 020 5 0010400 032 \r . : \r K \0 020 / : 021 K \0 020 / : 0010420 021 K \0 @ / : 021 K \0 200 / : 034 K \0 220 0010440 / : \a K \0 020 . : \a K \0 @ / : \a K 0010460 \0 200 / : \a K \0 220 / : 030 K \0 P / : 0010500 032 K \0 @ 5 030 . : \n K \0 020 . : \n K 0010520 \0 200 / : 016 K \0 020 / : 016 K \0 @ / : 0010540 016 K \0 ` / : \f K \0 020 . : \f K \0 @ 0010560 / : \f K \0 ` / : \f K \0 p / : 037 K 0010600 \0 p / : 027 K \0 020 / : 027 K \0 ` 5 031 0010620 . : \v K \0 020 . : \v K \0 ` / : 031 K 0010640 \0 020 / : 026 K \0 p / : 020 K \0 020 / : 0010660 020 K \0 320 5 024 . : 006 K \0 020 . : 006 K 0010700 \0 320 . : 006 K \0 340 / : 017 K \0 020 / : 0010720 017 K \0 320 / : \t K \0 @ / : \t K \0 P 0010740 / : \t K \0 ` / : \t K \0 p / : \b K 0010760 \0 020 / : \b K \0 @ / : \b K \0 P / : 0011000 \b K \0 ` 5 023 . : 005 K \0 020 . : 005 K 0011020 \0 @ . : 005 K \0 P . : 005 K \0 ` / : 0011040 035 K \0 340 / : 033 K \0 ` / : K \0 240 0011060 / : ! 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