CDMEBES _ %CDMEBES.stripesPerClump _ 5 -- package default is 10 _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESNmPerLambda, val: NEW[INT _ 1000]] _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESNmPerEBESPixel, val: NEW[INT _ 500]] _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESXNmPerDie, val: NEW[INT _ 8130000]] _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESYNmPerDie, val: NEW[INT _ 9145000]] _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESActiveToScribeCenter, val: NEW[INT _ 105000 -- active area 25 um inside metal 2 scribe ring --]] _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESNmMaxBloat, val: NEW[INT _ 10000]] _ &thinOxScribe _ NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 0, width: 55000 -- nm --]] _ &thinOx _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "10", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.ndif, deltaDiameter: 1000 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.pdif, deltaDiameter: 1000 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.pwellCont, deltaDiameter: 1000 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.nwellCont, deltaDiameter: 1000 -- nm --]], &thinOxScribe]]] _ &nWell _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "21", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.nwell, deltaDiameter: -8000 -- nm --]], &thinOxScribe]]] _ &pWell _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "22", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.nwell, deltaDiameter: -2000 -- nm --]], &thinOxScribe]]] _ &impScribe _ NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 0, width: 53000 -- nm --]] _ &ndifs _ LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.ndif]], NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.nwellCont]]] _ &pdifs _ LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.pdif]], NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.pwellCont]]] _ &nImp _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "23", cover: LIST[$OR, LIST[$RestrictNImplant, NEW[INT _ 1500 -- maxRadialExtension, nm -- ], &ndifs, &pdifs], &impScribe]]] _ &pImp _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "24", cover: LIST[$OR, LIST[$RestrictNImplant, NEW[INT _ 1500 -- maxRadialExtension, nm -- ], &pdifs, &ndifs], &impScribe]]] _ &vtiNWell _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "25", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.nwell, deltaDiameter: -3000 -- nm --]], &thinOxScribe]]] _ &vtiPWell _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "26", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.nwell, deltaDiameter: 0 -- nm --]], &thinOxScribe]]] _ &poly _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "30", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.pol, deltaDiameter: 0 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 54000, width: 18000 -- nm --]]]]] _ &cut _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "40", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.cut, deltaDiameter: 0 -- nm --]], &impScribe]]] _ &metal _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "50", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.met, deltaDiameter: 0 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 59000 -- nm --, width: 20000 -- nm --]]]]] _ &glass _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "60", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.ovg, deltaDiameter: 0 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 0, width: 40000 -- nm --]]]]] _ &cut2 _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "70", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.cut2, deltaDiameter: 0 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 0, width: 40000 -- nm --]]]]] _ &metal2 _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "80", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.met2, deltaDiameter: 0 -- nm --]], NEW[%CDMEBES.ScribeRec _ [scribeCenterToOuterEdge: 75000 -- nm --, width: 10000 -- nm --]]]]] _ %CDProperties.PutPropOnTechnology[onto: %CMos.cmos, prop: $CDMEBESMaskSetSpec, val: LIST[&thinOx, &nWell, &pWell, &nImp, &pImp, &vtiNWell, &vtiPWell, -- &buried, -- &poly, &cut, &metal, &glass, &cut2, &metal2]] _ %CDProperties.PutPropOnAtom[$MEBESMask, $CDMEBESMaskSetName, "MPCxxZZ"] CDMEBESForMPC55.load last modified by McCreight, September 10, 1985 2:42:35 pm PDT .. the die size .. CMOS masks: thin oxide or diffusion = 10 nwell = 21 pwell = 22 nimp = 23 pimp = 24 nwell = 25 pwell = 26 buried = 27 _ &buried _ NEW[%CDMEBES.MaskSpecRec _ [name: "27", cover: LIST[$OR, NEW[%CDMEBES.CDLayerRec _ [source: %CMos.bur, deltaDiameter: 0 -- nm --]], &impScribe]]] poly = 30 cut = 40 metal = 50 glass = 60 cut2 = 70 metal2 = 80 .. the name of the die (until I figure out how to get it into the design) ÊÁ˜Jšœ™Jšœ=™=J˜J˜J˜JšœÏc˜7J˜JšœVÏkœžœ ˜fJ˜JšœYžœžœ˜hJ˜Jšœ™J˜JšœTžœžœ ˜gJ˜JšœTžœžœ ˜gJ˜Jšœ_žœžœ 2œ˜¤J˜JšœUžœžœ ˜fJ˜J˜šœ™J˜Jšœ™J™Jšœžœ@œ˜_J™Jšœ žœ,žœžœ@œžœ@œžœEœžœEœ˜›J™Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœBœ˜¥J™Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœBœ˜¥J™Jšœ ™ J™Jšœžœ@œ˜\J˜Jšœ žœžœ.žœ2˜{J˜Jšœ žœžœ.žœ2˜{J˜Jš œ žœ,žœžœžœžœœ"˜¨J˜Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœžœžœœ"˜¨J˜J˜Jšœ ™ J™Jš œžœ,žœžœBœ˜¨J™Jšœ ™ J™Jš œžœ,žœžœ>œ˜¤J™Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœ<œ™J˜Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœ<œžœDœ˜âJ˜Jšœ™J™Jš œ žœ,žœžœ<œ˜šJ˜Jšœ ™ J™Jšœ žœžœ#žœžœžœ3œžœžœ-œœ˜ìJ˜Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœ<œžœ@œ˜ßJ˜Jšœ ™ J™Jš œ žœ,žœžœ=œžœ@œ˜ßJ˜Jšœ ™ J™Jšœ žœžœ#žœžœžœ4œžœžœ-œœ˜îJ˜J™—šœVžœ>œ.˜ÔJ˜—J™JšœI™IJ˜JšœI˜IJ˜J˜—…—€_